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Construção e otimização de um canhão para deposição e implantação iônica por imersão em plasma

V P Mammana F T Degasperi; M C Salvadori; I G Brown; Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada (21. 1998 Caxambu)

Resumos São Paulo : Sociedade Brasileira de Física, 1998

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Título:
Construção e otimização de um canhão para deposição e implantação iônica por imersão em plasma
Autor: V P Mammana
F T Degasperi; M C Salvadori; I G Brown; Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada (21. 1998 Caxambu)
Assuntos: MATÉRIA CONDENSADA
É parte de: Resumos São Paulo : Sociedade Brasileira de Física, 1998
Notas Locais: p. 396
Editor: São Paulo Sociedade Brasileira de Física
Data de criação/publicação: 1998
Idioma: Português

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