Controlled SOI nanopatterning for GaN pendeo-epitaxy

Mrad, Mrad ; Baril, Kilian ; Charles, Matthew ; Perez, Jesus Zuniga ; Labau, Sébastien ; Panabiere, Marie ; Petit-Etienne, Camille ; Alloing, Blandine ; Lefevre, Gauthier ; Dupré, Ludovic ; Feuillet, Guy ; Gourgon, Cécile

Micro and Nano Engineering, 2022-01, Vol.14 [Periódico revisado por pares]

Elsevier

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