AdaOPC: A Self-Adaptive Mask Optimization Framework For Real Design Patterns
Zhao, Wenqian ; Yao, Xufeng ; Yu, Ziyang ; Chen, Guojin ; Ma, Yuzhe ; Yu, Bei ; Wong, Martin D.F.
2022 IEEE/ACM International Conference On Computer Aided Design (ICCAD), 2022, p.1-9
ACM
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