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Oxidação térmica
do
silicio um estudo
do
método de oxidação com vapor de água
Adnei Melges de Andrade 1943- Carlos Ignacio Zamitti Mammana
1972
Localização:
EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central
(FD-893 )
e outros locais
(Acessar)
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