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Refinado por: Nome da Publicação: Integrated Ferroelectrics remover
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PZT capacitors using IrO2 electrode by RF magnetron sputtering
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Artigo
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PZT capacitors using IrO2 electrode by RF magnetron sputtering

Hong, Kwon ; You, In Kyu ; Yu, Yong Sik ; Lee, Sahang Kyoo

Integrated ferroelectrics, 1998-01, Vol.21 (1-4), p.511-519 [Periódico revisado por pares]

Taylor & Francis Group

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