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1
MEMS metrology techniques
MEMS metrology techniques
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MEMS metrology techniques

Novak, Erik

Proc. SPIE, 2005, Vol.5716, p.173-181

Bellingham WA: SPIE

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2
Modern approaches in phase measuring metrology (Invited Paper)
Modern approaches in phase measuring metrology (Invited Paper)
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Modern approaches in phase measuring metrology (Invited Paper)

Millerd, James ; Brock, Neal ; Hayes, John ; Kimbrough, Brad ; Novak, Matt ; North-Morris, Michael ; Wyant, James C

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.14-22

SPIE

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3
New method of structure light measurement system calibration based on adaptive and effective evaluation of 3D-phase distribution
New method of structure light measurement system calibration based on adaptive and effective evaluation of 3D-phase distribution
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

New method of structure light measurement system calibration based on adaptive and effective evaluation of 3D-phase distribution

Sitnik, Robert

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.109-117

SPIE

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4
Fast three-dimensional phase-unwrapping algorithm based on sorting by reliability following a non-continuous path
Fast three-dimensional phase-unwrapping algorithm based on sorting by reliability following a non-continuous path
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Fast three-dimensional phase-unwrapping algorithm based on sorting by reliability following a non-continuous path

Abdul-Rahman, Hussein ; Gdeisat, Munther ; Burton, David ; Lalor, Michael

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.32-40

SPIE

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5
Environmentally friendly interferometry
Environmentally friendly interferometry
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Environmentally friendly interferometry

Deck, Leslie L

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.159-169

SPIE

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6
Wavefront aberration measurement technology for microlens using the Mach-Zehnder interferometer provided with a projected aperture
Wavefront aberration measurement technology for microlens using the Mach-Zehnder interferometer provided with a projected aperture
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Wavefront aberration measurement technology for microlens using the Mach-Zehnder interferometer provided with a projected aperture

Miyashita, Takaaki ; Hamanaka, Kenjiro ; Kato, Masahiko ; Ishihara, Satoshi ; Sato, Hiroyasu ; Sato, Eiichi ; Morokuma, Tadashi

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.117-127

SPIE

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7
On-line measurements with optical scanners: metrological aspects
On-line measurements with optical scanners: metrological aspects
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

On-line measurements with optical scanners: metrological aspects

Duma, Virgil-Florin

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.606-617

SPIE

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8
OLED microdisplays: a new key element for fringe projection setups
OLED microdisplays: a new key element for fringe projection setups
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

OLED microdisplays: a new key element for fringe projection setups

Notni, Gunther ; Riehemann, Stefan ; Kuehmstedt, Peter ; Heidler, Lars ; Wolf, Nancy

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.170-177

SPIE

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9
A focus sensor for an application in a nanopositioning and nanomeasuring machine
A focus sensor for an application in a nanopositioning and nanomeasuring machine
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

A focus sensor for an application in a nanopositioning and nanomeasuring machine

Mastylo, Rostyslav ; Dontsov, Denis ; Manske, Eberhard ; Jager, Gerd

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.238-244

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10
Confocal micro-optical distance sensor: principle and design
Confocal micro-optical distance sensor: principle and design
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Confocal micro-optical distance sensor: principle and design

Ruprecht, Aiko K ; Pruss, Christof ; Tiziani, Hans J ; Osten, Wolfgang ; Lucke, Peter ; Last, Arndt ; Mohr, Jurgen ; Lehmann, Peter

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.128-135

SPIE

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  5. Após 2013  (33)
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