skip to main content
Idioma:
Refinado por: autor: Oliveira, A remover assunto: Semicondutores remover
Result Number Material Type Add to My Shelf Action Record Details and Options
1
A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications

Alessandro Ricardo Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-

Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010

Weinheim 2010

Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar)

2
A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications

Alessandro Ricardo Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-

Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010

Weinheim 2010

Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar)

Personalize Seus Resultados

  1. Editar

Refine Search Results

Novas Pesquisas Sugeridas

Ignorar minha busca e procurar por tudo

Deste Autor:

  1. Oliveira, A
  2. Pereyra, I
  3. Páez Carreño, M

Neste Assunto:

  1. Processos De Microeletrônica
  2. Metais
  3. Filmes Finos
  4. Sistemas Microeletromecânicos

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.