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1	Material Type: Artigo		A Micropower [Formula Omitted]-Based Interface ASIC for a Capacitive 3-Axis Micro-Accelerometer Paavola, M ; Kamarainen, M ; Laulainen, E ; Saukoski, M ; Koskinen, L ; Kosunen, M ; Halonen, K IEEE journal of solid-state circuits, 2009-11, Vol.44 (11), p.3193 [Periódico revisado por pares] New York: The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. (IEEE) Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
2	Material Type: Artigo		High-G MEMS Accelerometer with Cross-Symmetric Structures Choi, Y. ; Seok, M. ; Yoon, S.-H. ; Uhm, W.-Y. ; Jang, J. ; Cho, Y. ; Cho, Y.-H. IEEE sensors journal, 2024-01, Vol.24 (2), p.1-1 [Periódico revisado por pares] New York: IEEE Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
3	Material Type: Artigo		Single-Wafer-Processed Self-Testable High-[Formula Omitted] Accelerometers With Both Sensing and Actuating Elements Integrated on Trench-Sidewall Li, Xinxin ; Lei, Gu ; Wang, Yuelin ; Yang, Heng IEEE sensors journal, 2008-12, Vol.8 (12), p.1992-1999 [Periódico revisado por pares] New York: The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. (IEEE) Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
4	Material Type: Artigo		Electromechanical Sig-Delta Modulators ([Formula Omitted]) Force Feedback Interfaces for Capacitive MEMS Inertial Sensors: A Review Chen, Fang ; Li, Xinxin ; Kraft, Michael IEEE sensors journal, 2016-01, Vol.16 (17), p.6476 [Periódico revisado por pares] New York: The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. (IEEE) Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
5	Material Type: Artigo		Implementation of Effective Scale Factor Matching and Axial Centripetal Error Compensation for a Rotating Accelerometer Gravity Gradiometer Pi, Jianyuan ; Yu, Xiaobing ; Chen, Peng ; Yu, Mingbiao ; Yu, Li ; Fan, Ji ; Liu, Jinquan ; Hu, Chenyuan ; Tu, Liangcheng IEEE transactions on instrumentation and measurement, 2023-01, Vol.72, p.1-1 [Periódico revisado por pares] New York: IEEE Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
6	Material Type: Artigo		Thermal Stress Resistance for the Structure of MEMS-Based Silicon Differential Resonant Accelerometer Zhang, Jing ; Wu, Tianhao ; Liu, Yudong ; Lin, Chen ; Su, Yan IEEE sensors journal, 2023-05, Vol.23 (9), p.1-1 [Periódico revisado por pares] New York: IEEE Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
7	Material Type: Artigo		A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers Zhang, Zhao ; Zhang, Hemin ; Hao, Yongcun ; Chang, Honglong Journal of microelectromechanical systems, 2024-04, Vol.33 (2), p.174-208 [Periódico revisado por pares] New York: IEEE Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
8	Material Type: Artigo		A Background Test and Calibration Technique of Nonlinear Mismatches in MEMS Oscillating Accelerometers Cai, Siqi ; Zhang, Wenhui ; Sun, Tao ; Yu, Chencheng ; Jiang, Jinling ; Cai, Bin ; Qian, Jiuchao ; Zhang, Jing ; Su, Yan ; Zhao, Jian IEEE sensors journal, 2023-04, Vol.23 (7), p.1-1 [Periódico revisado por pares] New York: IEEE Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
9	Material Type: Artigo		Broadband Optomechanical Accelerometer Reaching the Thermomechanical Limit Based on Suspended Si3N4 Membrane Resonator Li, Wei ; Liu, Wenyao ; Liu, Chenxi ; Gu, Yanxia ; Liu, Lai ; Zhou, Yanru ; Xing, Enbo ; Shi, Yunbo ; Tang, Jun ; Liu, Jun IEEE sensors journal, 2024-04, p.1-1 [Periódico revisado por pares] IEEE Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por
10	Material Type: Artigo		High-Temperature SiC Piezoresistive Accelerometer Fabricated by Femtosecond Laser Yang, Yu ; Zhao, You ; Wang, Lukang ; Wang, Yabing ; Guo, Xinliang ; Cai, Yongkang ; Zhang, Manman ; Zhao, Yulong IEEE sensors journal, 2024-03, p.1-1 [Periódico revisado por pares] IEEE Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por

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