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Refinado por: autor: Diniz, J remover assunto: Transferência De Calor remover
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High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture
High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture

H. S. Alvarez F. H Cioldim; A. R Silva; J. A Diniz; Workshop on Semiconductors and Micro and Nano Technology - SEMINATEC (15. : 2021 : Virtual)

Abstracts São Paulo, SP : SBMicro, 2021

São Paulo, SP SBMicro 2021

Localização: EESC - Esc. Engenharia de São Carlos    (PROD-026257 )(Acessar)

2
Silicon micro-channel definition via ICP plasma etching process using different hard masks
Silicon micro-channel definition via ICP plasma etching process using different hard masks
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Silicon micro-channel definition via ICP plasma etching process using different hard masks

Hugo da S. Alvarez J. A Diniz; C. S Ruiz; Audrey R Silva; Frederico H Cioldin; Valter Salles do Nascimento Junior; AVS International Symposium and Exhibition (66. : 2019 : Columbus, Ohio, USA)

Abstract Book New York, NY, USA : AVS, 2019

New York, NY, USA AVS 2019

Localização: EESC - Esc. Engenharia de São Carlos    (PROD-026260 )(Acessar)

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