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Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection
Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection
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Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection

Burg, T.P. ; Mirza, A.R. ; Milovic, N. ; Tsau, C.H. ; Popescu, G.A. ; Foster, J.S. ; Manalis, S.R.

Journal of microelectromechanical systems, 2006-12, Vol.15 (6), p.1466-1476 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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2
Pattern transfer on a vertical cavity sidewall using SU8
Pattern transfer on a vertical cavity sidewall using SU8
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Pattern transfer on a vertical cavity sidewall using SU8

Verhaar, T M ; Wei, J ; Sarro, P M

Journal of micromechanics and microengineering, 2009-07, Vol.19 (7), p.074018-074018 (6) [Periódico revisado por pares]

Bristol: IOP Publishing

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3
A Sensor Fusion-Based Framework for Floor Localization
A Sensor Fusion-Based Framework for Floor Localization
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A Sensor Fusion-Based Framework for Floor Localization

Haque, Fahimul ; Dehghanian, Vahid ; Fapojuwo, Abraham O. ; Nielsen, John

IEEE sensors journal, 2019-01, Vol.19 (2), p.623-631 [Periódico revisado por pares]

New York: IEEE

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4
Mechanical characterization of bulk Sylgard 184 for microfluidics and microengineering
Mechanical characterization of bulk Sylgard 184 for microfluidics and microengineering
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Mechanical characterization of bulk Sylgard 184 for microfluidics and microengineering

Johnston, I D ; McCluskey, D K ; Tan, C K L ; Tracey, M C

Journal of micromechanics and microengineering, 2014-03, Vol.24 (3), p.35017-7 [Periódico revisado por pares]

Bristol: IOP Publishing

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5
Silicon electro-optic micro-modulator fabricated in standard CMOS technology as components for all silicon monolithic integrated optoelectronic systems
Silicon electro-optic micro-modulator fabricated in standard CMOS technology as components for all silicon monolithic integrated optoelectronic systems
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Silicon electro-optic micro-modulator fabricated in standard CMOS technology as components for all silicon monolithic integrated optoelectronic systems

Xu, Kaikai

Journal of micromechanics and microengineering, 2021-05, Vol.31 (5), p.54001 [Periódico revisado por pares]

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6
MEMS Laser Scanners: A Review
MEMS Laser Scanners: A Review
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MEMS Laser Scanners: A Review

Holmstrom, Sven T. S. ; Baran, Utku ; Urey, Hakan

Journal of microelectromechanical systems, 2014-04, Vol.23 (2), p.259-275 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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7
Micro hot embossing of thermoplastic polymers: a review
Micro hot embossing of thermoplastic polymers: a review
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Micro hot embossing of thermoplastic polymers: a review

Peng, Linfa ; Deng, Yujun ; Yi, Peiyun ; Lai, Xinmin

Journal of micromechanics and microengineering, 2014-01, Vol.24 (1), p.13001-23 [Periódico revisado por pares]

Bristol: IOP Publishing

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8
Review of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers and their applications
Review of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers and their applications
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Review of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers and their applications

Jung, Joontaek ; Lee, Wonjun ; Kang, Woojin ; Shin, Eunjung ; Ryu, Jungho ; Choi, Hongsoo

Journal of micromechanics and microengineering, 2017-11, Vol.27 (11), p.113001 [Periódico revisado por pares]

IOP Publishing

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9
A review of MEMS oscillators for frequency reference and timing applications
A review of MEMS oscillators for frequency reference and timing applications
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A review of MEMS oscillators for frequency reference and timing applications

van Beek, J T M ; Puers, R

Journal of micromechanics and microengineering, 2012-01, Vol.22 (1), p.013001-35 [Periódico revisado por pares]

Bristol: IOP Publishing

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10
Hyperelastic pressure sensing with a liquid-embedded elastomer
Hyperelastic pressure sensing with a liquid-embedded elastomer
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Hyperelastic pressure sensing with a liquid-embedded elastomer

Park, Yong-Lae ; Majidi, Carmel ; Kramer, Rebecca ; Bérard, Phillipe ; Wood, Robert J

Journal of micromechanics and microengineering, 2010-12, Vol.20 (12), p.125029 [Periódico revisado por pares]

Bristol: IOP Publishing

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