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Using Raman Microscopy to Detect Leaks in Micromechanical Silicon Structures
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Using Raman Microscopy to Detect Leaks in Micromechanical Silicon Structures

Weber, W. H. ; Zanini-Fisher, M. ; Pelletier, M. J.

Applied spectroscopy, 1997-01, Vol.51 (1), p.123-129 [Periódico revisado por pares]

London, England: SAGE Publications

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