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Fabrication and characterization of a directional anemometer based on a single chip MEMS flow sensor
Fabrication and characterization of a directional anemometer based on a single chip MEMS flow sensor
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Fabrication and characterization of a directional anemometer based on a single chip MEMS flow sensor

Piotto, M. ; Pennelli, G. ; Bruschi, P.

Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2214-2217 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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2
Selective Doping of Silicon Nanowires by Means of Electron Beam Stimulated Oxide Etching
Selective Doping of Silicon Nanowires by Means of Electron Beam Stimulated Oxide Etching
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Selective Doping of Silicon Nanowires by Means of Electron Beam Stimulated Oxide Etching

Pennelli, G ; Totaro, M ; Piotto, M

Nano letters, 2012-02, Vol.12 (2), p.1096-1101 [Periódico revisado por pares]

Washington, DC: American Chemical Society

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3
A single chip, double channel thermal flow meter
A single chip, double channel thermal flow meter
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A single chip, double channel thermal flow meter

Bruschi, P. ; Dei, M. ; Piotto, M.

Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2009-08, Vol.15 (8), p.1179-1186 [Periódico revisado por pares]

Berlin/Heidelberg: Springer-Verlag

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4
A compact package for integrated silicon thermal gas flow meters
A compact package for integrated silicon thermal gas flow meters
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A compact package for integrated silicon thermal gas flow meters

Bruschi, P. ; Nurra, V. ; Piotto, M.

Microsystem technologies, 2008-07, Vol.14 (7), p.943-949 [Periódico revisado por pares]

Berlin/Heidelberg: Springer-Verlag

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5
Silicon single-electron transistor fabricated by anisotropic etch and oxidation
Silicon single-electron transistor fabricated by anisotropic etch and oxidation
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Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Silicon single-electron transistor fabricated by anisotropic etch and oxidation

Pennelli, G. ; Piotto, M. ; Barillaro, G.

Microelectronic engineering, 2006-04, Vol.83 (4), p.1710-1713 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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6
A fabrication process for a silicon tunnel barrier with self-aligned gate
A fabrication process for a silicon tunnel barrier with self-aligned gate
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A fabrication process for a silicon tunnel barrier with self-aligned gate

Pennelli, G. ; Piotto, M.

Microelectronic engineering, 2006-04, Vol.83 (4), p.1559-1562 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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7
A closed-loop mass flow controller based on static solid-state devices
A closed-loop mass flow controller based on static solid-state devices
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A closed-loop mass flow controller based on static solid-state devices

Bruschi, P. ; Navarrini, D. ; Piotto, M.

Journal of microelectromechanical systems, 2006-06, Vol.15 (3), p.652-658 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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8
Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique
Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique
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Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique

Ciucci, S. ; D’Angelo, F. ; Diligenti, A. ; Pellegrini, B. ; Pennelli, G. ; Piotto, M.

Microelectronic engineering, 2005-03, Vol.78, p.338-342 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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9
Fabrication and characterization of highly doped suspended silicon wires
Fabrication and characterization of highly doped suspended silicon wires
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Fabrication and characterization of highly doped suspended silicon wires

Diligenti, A. ; Macucci, M. ; Pellegrini, B. ; Piotto, M.

Microelectronic engineering, 2003-06, Vol.67, p.676-682 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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10
Electrical and noise characterization of suspended silicon wires
Electrical and noise characterization of suspended silicon wires
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Electrical and noise characterization of suspended silicon wires

Macucci, M. ; Pellegrini, B. ; Pennelli, G. ; Piotto, M.

Microelectronic engineering, 2002-07, Vol.61, p.701-705 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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