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Influence of substrate temperature on the properties of (AlGa)2O3 thin films prepared by pulsed laser deposition
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Influence of substrate temperature on the properties of (AlGa)2O3 thin films prepared by pulsed laser deposition

Wang, Xu ; Chen, Zhengwei ; Zhang, Fabi ; Saito, Katsuhiko ; Tanaka, Tooru ; Nishio, Mitsuhiro ; Guo, Qixin

Ceramics international, 2016-08, Vol.42 (11), p.12783-12788 [Periódico revisado por pares]

Elsevier Ltd

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