Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning
Renato Goulart Jasinevicius Arthur José Vieira Porto; Jaime Gilberto Duduch; Paulo Sérgio Pizani; Francesco Lanciotti Junior; Francisco José dos Santos
Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering Rio de Janeiro v. 27, n. 4, p. 440-448, Oct./Dec. 2005
Rio de Janeiro 2005
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Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning
Renato Goulart Jasinevicius Arthur José Vieira Porto; Jaime Gilberto Duduch; Paulo Sérgio Pizani; Francesco Lanciotti Junior; Francisco José dos Santos
Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering Rio de Janeiro v. 27, n. 4, p. 440-448, Oct./Dec. 2005
Rio de Janeiro 2005
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Ductile mode chip removal in ultraprecision diamond turning of monocrystalline silicon
Renato Goulart Jasinevicius Arthur José Vieira Porto; Jaime Gilberto Duduch; Helder Augustus Treviso da Silva; Carlos Renato Pagotto; Congresso Brasileiro de Engenharia Mecânica - COBEM (15. 1999 Águas de Lindóia, SP); Brazilian Congress of Mechanical Engineering (15. 1999 Águas de Lindóia, SP)
Campinas : ABCM/UNICAMP, 1999
Campinas ABCM/UNICAMP 1999
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