Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Obtenção de filmes de Sn'O IND.2' com técnicas de baixo custo para aplicações em sensoresRicardo Germano Stolf Francisco Javier Ramírez Fernandez 1944-2001Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-2997 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Tese de Doutorado
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Desenvolvimento de um sistema multicâmara integrado para deposição e recozimento de filmes 'SI''O IND.2'Nilton Itiro Morimoto 1962- Jacobus Willibrordus Swart 1950-1995Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FT-822 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Estudo do comportamento elétrico de dispositivos de potência a partir da otimização dos parâmetros de processo de deposição do filme SIPOS obtido por LPCVDAlves, Marcelo FaustinoBiblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2003-02-26Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos. |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System"Deilton Reis Martins Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori2002Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-3122 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Dopagem elétrica de filmes finos de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-SIC:H) obtido por PECVDAlessandro Ricardo de Oliveira Marcelo Nelson Paez Carreño 1962-2002Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-3189 ) e outros locais(Acessar) |
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6 |
Material Type: Dissertação de Mestrado
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Estudos de difusão de alumínio em ligas amorfas de carbono-silícioRobinson Oliva Salazar Inés Pereyra 1947-2001Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-2919 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVDRicardo Aparecido Rodrigues de Oliveira Inés Pereyra 1947-2003Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-3365 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Tese de Doutorado
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Desenvolvimento e aplicação de processos com plasma de alta densidade para a deposição de filmes de carbonoAna Paula Mousinho dos Santos Ronaldo Domingues Mansano 1964-2005Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FT-2098 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Deposição de AIN para a fabricação de sensores de pressão SAWEduardo Lodi Marzano Nilton Itiro Morimoto 1962-2005Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-4193 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Tese de Doutorado
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Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVDEdison Fernandes Motta Inés Pereyra 1947-2004Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FT-2051 ) e outros locais(Acessar) |