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11
Three-dimensional dynamic environmental MEMS characterization
Three-dimensional dynamic environmental MEMS characterization
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Three-dimensional dynamic environmental MEMS characterization

Novak, Erik

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5458, p.1-8

Bellingham WA: SPIE

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12
Compact high-resolution homodyne interferometer for nanometer-scale multidimensional AFM metrology
Compact high-resolution homodyne interferometer for nanometer-scale multidimensional AFM metrology
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Compact high-resolution homodyne interferometer for nanometer-scale multidimensional AFM metrology

Gonda, Satoshi ; Kinoshita, Kazuto ; Noguchi, Hironori ; Koyanagi, Hajime ; Terasawa, Tsuneo

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.229-236

SPIE

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13
Automatic phase-shifting Ronchi tester with a square Ronchi ruling
Automatic phase-shifting Ronchi tester with a square Ronchi ruling
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Automatic phase-shifting Ronchi tester with a square Ronchi ruling

Castro-Ramos, Jorge ; Sasian, Jose

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.199-210

SPIE

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14
Computer generated holograms for the optical shop testing of aspheres
Computer generated holograms for the optical shop testing of aspheres
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Computer generated holograms for the optical shop testing of aspheres

Schreiner, R ; Herrmann, T ; Roder, J ; Muller-Pfeiffer, S ; Falkenstorfer, O

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.503-508

SPIE

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15
Improving 3D surface measurement accuracy on metallic surfaces
Improving 3D surface measurement accuracy on metallic surfaces
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Improving 3D surface measurement accuracy on metallic surfaces

Kokku, Raghu ; Brooksby, Glen

Proc. SPIE, 2005, Vol.5856, p.618-624

SPIE

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16
Active wavefront sensing and wavefront control with SLMs
Active wavefront sensing and wavefront control with SLMs
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Active wavefront sensing and wavefront control with SLMs

Liesener, Jan ; Seifert, Lars ; Tiziani, Hans J ; Osten, Wolfgang

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.147-158

SPIE

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17
Quantitative optical metrology with CMOS cameras
Quantitative optical metrology with CMOS cameras
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Quantitative optical metrology with CMOS cameras

Furlong, Cosme ; Kolenovic, Ervin ; Ferguson, Curtis F

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.1-15

SPIE

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18
Surface profiling using a reference-scanning Mirau interference microscope
Surface profiling using a reference-scanning Mirau interference microscope
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Surface profiling using a reference-scanning Mirau interference microscope

Colonna de Lega, Xavier ; Grigg, David ; de Groot, Peter

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.106-116

SPIE

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19
Active microinterferometer with liquid crystal on silicon (LCOS) for extended range static and dynamic micromembrane measurement
Active microinterferometer with liquid crystal on silicon (LCOS) for extended range static and dynamic micromembrane measurement
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Active microinterferometer with liquid crystal on silicon (LCOS) for extended range static and dynamic micromembrane measurement

Kacperski, Jacek ; Kujawinska, Malgorzata ; Wang, Xinghua ; Bos, Philip J

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.37-43

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20
Phase scaling using characteristic polynomials
Phase scaling using characteristic polynomials
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Phase scaling using characteristic polynomials

Sitnik, Robert

Proceedings of SPIE, 2004, Vol.5532, p.211-217

SPIE

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