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Refinado por: Nome da Publicação: Microelectronics Journal remover assunto: Plasma (Microeletrônica) remover
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1
Plasma etching of DLC films for microfluidic channels
Plasma etching of DLC films for microfluidic channels
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Plasma etching of DLC films for microfluidic channels

Marcos Massi Juan Manuel Jaramillo Ocampo; Homero Santiago Maciel; K Grigorov; C Otani; L. V Santos; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Microelectronics Journal, Luton : Mackintosh, 2003 v. 34, n. 5-8, p. 635-638, May/Aug. 2003

Luton 2003

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2
Plasma etching of DLC films for microfluidic channels
Plasma etching of DLC films for microfluidic channels
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Plasma etching of DLC films for microfluidic channels

Marcos Massi Juan Manuel Jaramillo Ocampo; Homero Santiago Maciel; K Grigorov; C Otani; L. V Santos; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Microelectronics Journal, Luton : Mackintosh, 2003 v. 34, n. 5-8, p. 635-638, May/Aug. 2003

Luton 2003

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3
High density plasma chemical vapor deposition of diamond-like carbon films
High density plasma chemical vapor deposition of diamond-like carbon films
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High density plasma chemical vapor deposition of diamond-like carbon films

Ana Paula Mousinho Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Marcos Massi; Luís da Silva Zambom

Microelectronics Journal Luton v. 34, n. 5-8, p. 627-629, May/Aug. 2003

Luton 2003

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4
High density plasma chemical vapor deposition of diamond-like carbon films
High density plasma chemical vapor deposition of diamond-like carbon films
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High density plasma chemical vapor deposition of diamond-like carbon films

Ana Paula Mousinho Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Marcos Massi; Luís da Silva Zambom

Microelectronics Journal Luton v. 34, n. 5-8, p. 627-629, May/Aug. 2003

Luton 2003

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5
The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
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The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films

M. Guerino Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; C Otani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Microelectronics Journal Luton : Mackintosh, 2003 v. 34, n. 5-8, May/Aug. 2003

Luton 2003

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The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
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The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films

M. Guerino Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; C Otani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Microelectronics Journal Luton : Mackintosh, 2003 v. 34, n. 5-8, May/Aug. 2003

Luton 2003

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