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1
Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro actuators
Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro actuators
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro actuators

Paulo Henrique de Godoy Emílio Carlos Nelli Silva 1968-; International Congress of Mechanical Engineering (18. 2005 Ouro Preto, Minas Gerais)

COBEM 2005 : proceedings Rio de Janeiro : ABCM, 2005

Rio de Janeiro ABCM 2005

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2
Development of an electrothermomechanical xy micropositioner
Development of an electrothermomechanical xy micropositioner
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Development of an electrothermomechanical xy micropositioner

Wagner Shin Nishitani https://orcid.org/0000-0003-1643-7357 Flávio Honda; Paulo Henrique de Godoy; Emílio Carlos Nelli Silva 1968-; International Congress of Mechanical Engineering (18. 2005 Ouro Preto, Minas Gerais)

COBEM 2005 : proceedings Rio de Janeiro : ABCM, 2005

Rio de Janeiro ABCM 2005

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3
Design of electrothermomechanical MEMS
Design of electrothermomechanical MEMS
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Design of electrothermomechanical MEMS

Wilfredo Montealegre Rubio Paulo Henrique de Godoy; Emílio Carlos Nelli Silva 1968-; International Congress of Mechanical Engineering (18. 2005 Ouro Preto, Minas Gerais)

COBEM 2005 : proceedings Rio de Janeiro : ABCM, 2005

Rio de Janeiro ABCM 2005

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4
Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators

Paulo Henrique de Godoy Emílio Carlos Nelli Silva 1968-

Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering Rio de Janeiro v. 29, n. 1, p. 26-32, Jan./Mar. 2007

Rio de Janeiro 2007

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Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators

Paulo Henrique de Godoy Emílio Carlos Nelli Silva 1968-

Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering Rio de Janeiro v. 29, n. 1, p. 26-33, January/March 2007

Rio de Janeiro 2007

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Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators

Paulo Henrique de Godoy Emílio Carlos Nelli Silva 1968-

Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering Rio de Janeiro v. 29, n. 1, p. 26-32, Jan./Mar. 2007

Rio de Janeiro 2007

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Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Aspects of fabrication and characterization of electro-thermal micro-actuators

Paulo Henrique de Godoy Emílio Carlos Nelli Silva 1968-

Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering Rio de Janeiro v. 29, n. 1, p. 26-33, January/March 2007

Rio de Janeiro 2007

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