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Changes in effective work function of HfxRu1-x alloy gate electrode
Changes in effective work function of HfxRu1-x alloy gate electrode
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Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Changes in effective work function of HfxRu1-x alloy gate electrode

NABATAME, T ; NUNOSHIGE, Y ; KADOSHIMA, M ; TAKABA, H ; SEGAWA, K ; KIMURA, S ; SATAKE, H ; OTA, H ; OHISHI, T ; TORIUMI, A

Microelectronic engineering, 2008-07, Vol.85 (7), p.1524-1528 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier Science

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2
Interlayer dielectric process for LSI circuits using positive photosensitive polyimide synthesized by block-copolymerization
Interlayer dielectric process for LSI circuits using positive photosensitive polyimide synthesized by block-copolymerization
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Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Interlayer dielectric process for LSI circuits using positive photosensitive polyimide synthesized by block-copolymerization

Aoyagi, Masahiro ; Segawa, Shigemasa ; Jung, EunSil ; Itatani, Taro ; Komuro, Masanori ; Sakamoto, Tsuenenori ; Itatani, Hiroshi ; Miyamura, Masataka ; Matsumoto, Shunichi

SPIE proceedings series, 2001, Vol.4345, p.1073-1078

Bellingham WA: SPIE

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3
Performance of a chemically amplified positive resist for next-generation photomask fabrication
Performance of a chemically amplified positive resist for next-generation photomask fabrication
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Performance of a chemically amplified positive resist for next-generation photomask fabrication

Kurihara, Masa-aki ; Segawa, Toshikazu ; Okuno, Daichi ; Hayashi, Naoya ; Sano, Hisatake

SPIE proceedings series, 1998, Vol.3412, p.279-291

Bellingham WA: SPIE

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4
Influence of the c-axis orientation on the optical properties of thin CdS films formed by laser ablation
Influence of the c-axis orientation on the optical properties of thin CdS films formed by laser ablation
Material Type:
Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Influence of the c-axis orientation on the optical properties of thin CdS films formed by laser ablation

DUSHKINA, N. M ; ULLRICH, B ; SAKAI, H ; EIJU, T ; SEGAWA, Y

SPIE proceedings series, 1999, p.424-432

Bellingham WA: SPIE

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