Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films deposited by ECR plasma reactorJ A S da Matta Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Ricardo Magnus Osorio Galvao; Encontro Brasileiro de Física dos Plasmas (8. 2005 Niterói)Resumos São Paulo : Sociedade Brasileira de Física, 2005São Paulo SBF 2005Acesso online |
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Material Type: Tese de Doutorado
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Desenvolvimento e caracterização de uma fonte de plasma ECR para deposição de filmes finosJose Antonio Sevidanes da Matta Ricardo Magnus Osorio Galvao2000Localização: IF - Instituto de Física (530.44 M435d D Ex.2 )(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Mapeamento magnetico do tokamak tbr-1Jose Antonio Sevidanes da Matta Iberê Luiz Caldas1994Localização: IF - Instituto de Física (530.44 M435m M Ex.2 )(Acessar) |
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Material Type: Artigo
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Description and characterization of a ECR plasma device developed for thin film depositionJ A S da Matta Ricardo Magnus Osorio Galvao; L Ruchko; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Pedro Kunihiko KiyoharaBrazilian Journal of Physics São Paulo v. 33, n. 1, p. 123-127São Paulo 2003Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Artigo
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Description and characterization of a ECR plasma device developed for thin film depositionJ A S da Matta Ricardo Magnus Osorio Galvao; L Ruchko; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Pedro Kunihiko KiyoharaBrazilian Journal of Physics São Paulo v. 33, n. 1, p. 123-127São Paulo 2003Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |