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AIP_美国物理联合会现刊（与NSTL共建）
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Surfaces, Coatings And Films
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| Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
|---|---|---|---|
| 1 |
Material Type: Artigo
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Production of nanometric particles in radio frequency glow discharges in mixtures of silane and methaneBertran, E. ; Costa, J. ; Viera, G. ; Zhang, R. Q.Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 1996-03, Vol.14 (2), p.567-571 [Periódico revisado por pares]American Institute of PhysicsTexto completo disponível |
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