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1
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Artigo de Congresso
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Análise de óxido de silício identificação de compostos carbônicos. (em CD-Rom)

Maria Lucia Pereira da Silva 1957- A R Cardoso; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)

Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997

Itajubá SBMICRO/EFEI 1997

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2
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Artigo de Congresso
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Processo de deposição por PECVD influência dos íons

A R Cardoso Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)

Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997

Itajubá SBMICRO/EFEI 1997

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3
Material Type:
Artigo de Congresso
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Estudo da reprodutibilidade do sistema PETEOS utilizando a técnica de espectrometria de massas. (em CD-Rom)

Ana Neilde Rodrigues da Silva Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)

Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997

Itajubá SBMICRO/EFEI 1997

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4
Material Type:
Artigo de Congresso
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PECVD SiO2 sacrificial layers for fabrication of free-standing polysilicon filaments. (em CD-Rom)

Eliphas Wagner Simões Rogério Furlan 1959-; Nilton Itiro Morimoto 1962-; Olivier Bonnaud; Ana Neilde Rodrigues da Silva; Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)

Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997

Itajubá SBMICRO/EFEI 1997

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