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1
Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering
Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering
Material Type:
Relatório Técnico 		Adicionar ao Meu Espaço

Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering

Marcos Massi Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Homero Santiago Maciel; C Otani; Patrick Bernard Verdonck 1958-; L. N. B. M Nishioka

São Paulo EPUSP 1999

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2
Deposicao de carbono pirolitico, via processo de deposicao de vapor quimico assistido a plasma de metano , sobre substratos de carbono vitreo
Deposicao de carbono pirolitico, via processo de deposicao de vapor quimico assistido a plasma de metano , sobre substratos de carbono vitreo
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Deposicao de carbono pirolitico, via processo de deposicao de vapor quimico assistido a plasma de metano , sobre substratos de carbono vitreo

S Watari C Otani; M Resende; C Nogueira; Marcos Massi; M Lima; H. S Maciel; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (16. 1995 Brasilia)

Resumos Brasilia : Sbv/Unicamp/Unb, 1995

Brasília Sbv/Unicamp/Unb 1995

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3
Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering
Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering

Marcos Massi Homero Santiago Maciel; C Otani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Patrick Bernard Verdonck 1958-

Journal of Materials Science: Materials in Electronics London : Kluwer Academic, 2001 v. 12, p. 343-346, 2001

London 2001

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4
The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films

M. Guerino Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; C Otani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Microelectronics Journal Luton : Mackintosh, 2003 v. 34, n. 5-8, May/Aug. 2003

Luton 2003

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5
Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering
Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering

Marcos Massi Homero Santiago Maciel; C Otani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Patrick Bernard Verdonck 1958-

Journal of Materials Science: Materials in Electronics London : Kluwer Academic, 2001 v. 12, p. 343-346, 2001

London 2001

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The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

The effects of the nitrogen on the electrical and structural properties of the diamond-like carbon (DLC) films

M. Guerino Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; C Otani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Microelectronics Journal Luton : Mackintosh, 2003 v. 34, n. 5-8, May/Aug. 2003

Luton 2003

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7
Electrical and structural characterisation of DLC films deposited by magnetron sputtering
Electrical and structural characterisation of DLC films deposited by magnetron sputtering
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Electrical and structural characterisation of DLC films deposited by magnetron sputtering

Marcos Massi Homero Santiago Maciel; C Otani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Patrick Bernard Verdonck 1958-; International Conference on Materials for Microelectronics (3. 2000 Dublin)

Journal of Materials Science: Materials in Electronics v. 12, p. 343–346, 2001

London 2001

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8
Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering
Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering

Ronaldo Domingues Mansano 1964- Marcos Massi; Luís da Silva Zambom; Patrick Bernard Verdonck 1958-; P. M Nogueira; H. S Maciel; Choyu Otani

Thin Solid Films Lauzanne n. 373, p. 243-246, 2000

Lauzanne 2000

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9
Effects of plasma etching on DLC films
Effects of plasma etching on DLC films
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Effects of plasma etching on DLC films

Marcos Massi Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Homero Santiago Maciel; C Otani; Patrick Bernard Verdonck 1958-; L. N. B. M Nishioka

Thin Solid Films Amsterdam : Elsevier, 1999 n. 343-344, p. 381-384, 1999

Amsterdam 1999

Acesso online

10
Raman active `E IND. 2´ models in aluminum nitride films
Raman active `E IND. 2´ models in aluminum nitride films
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Raman active `E IND. 2´ models in aluminum nitride films

I. C. Oliveira C Otani; H. S Maciel; Marcos Massi; Lúcia Kiyomi Noda; Márcia Laudelina Arruda Temperini

Journal of Materials Science: Materials in Electronics Norwell v. 12, n.4-6, p. 259-262, 2001

Norwell 2001

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  1. Maciel, H
  2. Massi, M
  3. Otani, C
  4. Mansano, R
  5. Verdonck, P

Neste Assunto:

  1. Filmes Finos
  2. Plasma (Microeletrônica)
  3. Físico-Química
  4. Plasma
  5. Filmes

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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