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Investigation of borophosphosilicate glass roughness and planarization with the atomic force microscope technique
Investigation of borophosphosilicate glass roughness and planarization with the atomic force microscope technique
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Investigation of borophosphosilicate glass roughness and planarization with the atomic force microscope technique

Tang, S.K ; Vassiliev, V.Y ; Mridha, S ; Chan, L.H

Thin solid films, 1999-09, Vol.352 (1), p.77-84 [Periódico revisado por pares]

Lausanne: Elsevier B.V

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