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Deposição de nitreto de silício por LPCVD
Deposição de nitreto de silício por LPCVD
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Deposição de nitreto de silício por LPCVD

Luís da Silva Zambom Claus Martin Hasenack

1994

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-1670 )(Acessar)

2
Avaliacao da influencia do ambiente no processo de obtencao do siliceto de titanio em fornos rtp operando no lsi-epusp
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Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Avaliacao da influencia do ambiente no processo de obtencao do siliceto de titanio em fornos rtp operando no lsi-epusp

Yan Prucha Vieira da Costa Claus Martin Hasenack

1993

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-1537 )(Acessar)

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