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1
Development of an aluminium plasma etch process with cci4 and n2
Development of an aluminium plasma etch process with cci4 and n2
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Development of an aluminium plasma etch process with cci4 and n2

R M Franzini Patrick Bernard Verdonck 1958-; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (14. 1993 Recife)

Resumos Recife : Ufpe, 1993

Recife Ufpe 1993

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2
Chemical etching of tungsten with nf3 - 02 plasmas
Chemical etching of tungsten with nf3 - 02 plasmas
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Chemical etching of tungsten with nf3 - 02 plasmas

Patrick Bernard Verdonck 1958- G Brasseur; Jacobus Willibrordus Swart 1950-; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)

Resumos Campinas : Unicamp, 1992

Campinas Unicamp 1992

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Obtencao de um processo de litografia de multicamadas
Obtencao de um processo de litografia de multicamadas
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Obtencao de um processo de litografia de multicamadas

Ronaldo Domingues Mansano 1964- N T Yunaka; Patrick Bernard Verdonck 1958-; H. S Maciel; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (14. 1993 Recife)

Resumos Recife : Ufpe, 1993

Recife Ufpe 1993

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Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma
Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma

R M Franzin Patrick Bernard Verdonck 1958-; Ronaldo Domingues Mansano 1964-; M Ordonez; M B Pisani; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)

Resumos Campinas : Unicamp, 1992

Campinas Unicamp 1992

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