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1
Comparison between single and double Langmuir probe tecniques for analysis of inductively coupled plasmas
Comparison between single and double Langmuir probe tecniques for analysis of inductively coupled plasmas
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Relatório Técnico 		Adicionar ao Meu Espaço

Comparison between single and double Langmuir probe tecniques for analysis of inductively coupled plasmas

Giuseppe Antonio Cirino Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; R M Castro; Marcos Massi; M B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

São Paulo EPUSP 1998

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2
End-point detection of polymer etching using Lagmuir probes
End-point detection of polymer etching using Lagmuir probes
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

End-point detection of polymer etching using Lagmuir probes

Raul Murete de Castro Patrick Bernard Verdonck 1958-; Marcelo B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Giuseppe Antonio Cirino; Homero Santiago Maciel; Marcos Massi

IEEE Transactions on Plasma Science New York v. 28, n. 3, p. 1043-1049, Jun. 2000

New York 2000

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3
A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization
A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization

Raul Murete de Castro Giuseppe Antonio Cirino; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; Marcos Massi; M B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Contributions to plasma physics Berlin v.39, n.3, p.235-246, 1999

Berlin 1999

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4
Performance characterization of an RIE reactor with built-in RF excitation antenna
Performance characterization of an RIE reactor with built-in RF excitation antenna
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Performance characterization of an RIE reactor with built-in RF excitation antenna

Marcos Massi Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; Giuseppe Antonio Cirino; Raul Murete de Castro; Marcelo B Pisani

Solid-State Devices and Circuits São Paulo v. 8, n. 1, p. 1-4, Feb. 2000

São Paulo 2000

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A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization
A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization

Raul Murete de Castro Giuseppe Antonio Cirino; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; Marcos Massi; M B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Contributions to plasma physics Berlin v.39, n.3, p.235-246, 1999

Berlin 1999

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End-point detection of polymer etching using Lagmuir probes
End-point detection of polymer etching using Lagmuir probes
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

End-point detection of polymer etching using Lagmuir probes

Raul Murete de Castro Patrick Bernard Verdonck 1958-; Marcelo B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Giuseppe Antonio Cirino; Homero Santiago Maciel; Marcos Massi

IEEE Transactions on Plasma Science New York v. 28, n. 3, p. 1043-1049, Jun. 2000

New York 2000

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Deste Autor:

  1. Castro, R
  2. Pisani, M
  3. Massi, M
  4. Verdonck, P
  5. Maciel, H

Neste Assunto:

  1. Plasma (Microeletrônica)
  2. Circuitos Integrados
  3. Semicondutores
  4. Antenas

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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