1
Material Type:
Artigo de Congresso
Plasma etching
Patrick Bernard Verdonck 1958- Oficina de Microeletronica (5. 1996 Campinas)
Notas de Aula Campinas : Unicamp, 1996
Campinas Unicamp 1996
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2
Material Type:
Relatório Técnico
Aluminium etching with CC14-N2 plasma
Angela Makie Nakazawa Patrick Bernard Verdonck 1958-
São Paulo EPUSP 1997
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3
Material Type:
Livro
Characterization of SF6 plasmas by RF electrical measurements
Marcelo Bento Pisani Patrick Bernard Verdonck 1958-
Morimoto, N.I.; Ribas, P.R.; Verdonck, P.B., eds Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002 Pennington : The Electrochemical Society, 2002
Pennington The Electrochemical Society 2002
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4
Material Type:
Artigo de Congresso
Aspects of metal etching for interconnect technologies
Patrick Bernard Verdonck 1958- H Meynen; Brazilian Microelectronics School (3rd 1994 Campinas)
Advanced Metallization for Vlsi/ulsi Applications: Proceedings Campinas : Sbmicro/Unicamp, 1994
Campinas Sbmicro/Unicamp 1994
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5
Material Type:
Relatório Técnico
Deep trench etching in silicon with fluorine containing plasmas
Ronaldo Domingues Mansano 1964- Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel
São Paulo EPUSP 1998
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6
Material Type:
Artigo de Congresso
Oxygen plasma etching mechanisms of resist
Patrick Bernard Verdonck 1958- International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO (19. 2004 Porto Galinhas)
Santos, E. J. B.; Ribas, R. P.; Swart, J. eds Microelectronics technology and devices SBMicro 2004. Proceedings, v. 2004-03 Pennington : The Electrochemical Society, 2004
Pennington The Electrochemical Society 2004
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7
Material Type:
Artigo de Congresso
Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom)
A M Nakazawa Patrick Bernard Verdonck 1958-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)
Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997
Itajubá SBMICRO/EFEI 1997
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8
Material Type:
Artigo de Congresso
RF electrical measurements in plasma processing reactors
Marcelo B. Pisani Patrick Bernard Verdonck 1958-; International Conference on Microelectronics and Packaging (15. 2000 Manaus)
SBMicro 2000: proceedings Manaus : SBMicro/UA/UFGRS/UNICAMP/USP, 2000
Manaus SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP 2000
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9
Material Type:
Artigo de Congresso
Determination of the ion density and electron temperature using a planar electrostatic probe
Laura Swart Patrick Bernard Verdonck 1958-; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO (20. 2005 Florianópolis)
Claeys, C.; Swart, J. W.; Morimoto, N. I.; Verdonck, P., eds. Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2005 Pennington : The Electrochemical Society, 2005. Proceedings v. 2005-08
Pennington The Electrochemical Society 2005
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10
Material Type:
Artigo de Congresso
Contamination caused by reactive ion etching plasmas and subsequent cleaning procedures
Patrick Bernard Verdonck 1958- Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (9. 1994 Rio de Janeiro)
Anais Rio de Janeiro : Sbmicro/Ufrj, 1994
Rio de Janeiro Sbmicro/Ufrj 1994
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