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1
Aluminium etching with CC14-N2 plasma
Aluminium etching with CC14-N2 plasma
Material Type:
Relatório Técnico 		Adicionar ao Meu Espaço

Aluminium etching with CC14-N2 plasma

Angela Makie Nakazawa Patrick Bernard Verdonck 1958-

São Paulo EPUSP 1997

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O uso de resistes amplificados quimicamente e de sililação em litografia por feixe de elétrons
O uso de resistes amplificados quimicamente e de sililação em litografia por feixe de elétrons
Material Type:
Relatório Técnico 		Adicionar ao Meu Espaço

O uso de resistes amplificados quimicamente e de sililação em litografia por feixe de elétrons

Antonio Carlos Seabra 1961- Patrick Bernard Verdonck 1958-

São Paulo EPUSP 1997

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3
Deep trench etching in silicon with fluorine containing plasmas
Deep trench etching in silicon with fluorine containing plasmas
Material Type:
Relatório Técnico 		Adicionar ao Meu Espaço

Deep trench etching in silicon with fluorine containing plasmas

Ronaldo Domingues Mansano 1964- Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel

São Paulo EPUSP 1998

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Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering
Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering
Material Type:
Relatório Técnico 		Adicionar ao Meu Espaço

Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering

Marcos Massi Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Homero Santiago Maciel; C Otani; Patrick Bernard Verdonck 1958-; L. N. B. M Nishioka

São Paulo EPUSP 1999

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Comparison between single and double Langmuir probe tecniques for analysis of inductively coupled plasmas
Comparison between single and double Langmuir probe tecniques for analysis of inductively coupled plasmas
Material Type:
Relatório Técnico 		Adicionar ao Meu Espaço

Comparison between single and double Langmuir probe tecniques for analysis of inductively coupled plasmas

Giuseppe Antonio Cirino Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; R M Castro; Marcos Massi; M B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

São Paulo EPUSP 1998

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Neste Assunto:

  1. Circuitos Integrados
  2. Engenharia Elétrica
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