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Materials Science and Engineering B
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Material Type: Artigo
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Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVDDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu FantiniMaterials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004São Paulo 2004Acesso online |
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Material Type: Artigo
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Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVDDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu FantiniMaterials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004São Paulo 2004Acesso online |
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Material Type: Artigo
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Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride filmsInés Pereyra 1947- Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; R A R Oliveira; M Ribeiro; Wanderla Luis ScopelMaterials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 116-119, 2004São Paulo 2004Acesso online |
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Material Type: Artigo
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Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride filmsInés Pereyra 1947- Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; R A R Oliveira; M Ribeiro; Wanderla Luis ScopelMaterials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 116-119, 2004São Paulo 2004Acesso online |
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