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1
Material Type:
Dissertação de Mestrado
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Síntese e caracterização de grafeno por CVD catalítico em filmes finos de Ni e Cu.

Feria Garnica, Deissy Johanna

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2017-11-24

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

2
Material Type:
Artigo de Congresso
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The structural properties of the protective layer of microlamps under polarization

Vinicius Roberto de Sylos Cassimiro Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Gustavo Pamplona Rehder 1979-; Rubens Martins Cunha Junior; Nicolas Trcera; Brazilian Workshop on Semiconductor Physics Ago 14-18, 2017 Maresias, São Paulo, SP 18th

Proceedings Science BWSP São Paulo, 2017 v. 1, 4 p.

São Paulo 2017

Acesso online

3
Material Type:
Artigo
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A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications

Alessandro Ricardo Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-

Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010

Weinheim 2010

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4
Material Type:
Artigo
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A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications

Alessandro Ricardo Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-

Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010

Weinheim 2010

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5
Material Type:
Artigo de Congresso
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Caracterização elétrica de contatos de Al, Ni e Ti em filmes cristalizados de SiC obtidos por PECVD

Alessandro Ricardo de Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Simpósio Internacional de Pós-Doutorado (1. 2008 São Paulo, SP)

siPDusp São Paulo: USP, 2008

São Paulo USP 2008

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6
Material Type:
Artigo de Congresso
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Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício

Daniel Baraldi Sesso Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Inés Pereyra 1947-; Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo (15 2007 São Paulo)

15 SIICUSP: anais São Paulo: Universidade de São Paulo, 2007

São Paulo Universidade de São Paulo 2007

Acesso online

7
Material Type:
Artigo de Congresso
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Al thermal diffusion in `alfa´-`Si IND.1-X´`C IND.X´:H Thin Film Studied by XAFS

Rogerio Junqueira Prado Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Inés Pereyra 1947-; A M Flank; X-Ray Absorption Fine Structure - XAFS 13th International Conference

AIP Conference Proceedings v. 882, p. 529-531, 2007

New York The Institute 2007

Acesso online

8
Material Type:
Livro
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3D topography in self-sustained membranes of SiOxNy obtained by PECVD technique at low temperatures

Marcelo Nelson Páez Carreño 1962- Alexandre Tavares Lopes; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices (17th 2002 Porto Alegre, RS)

Morimoto, N.I.; Ribas, P.R.; Verdonck, P.B., eds Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002 Pennington : The Electrochemical Society, 2002

Pennington The Electrochemical Society 2002

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9
Material Type:
Artigo
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Mechanical and thermophysical properties of PECVD oxynitride films measured by mems

Marcelo Silva Guimarães Amilton Sinatora 1951-; M. I Aloyo; Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-

Thin Solid Films Lausanne v. 398-399, p. 626-631, nov. 2001

Lausanne 2001

Acesso online

10
Material Type:
Artigo
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Mechanical and thermophysical properties of PECVD oxynitride films measured by mems

Marcelo Silva Guimarães Amilton Sinatora 1951-; M. I Aloyo; Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-

Thin Solid Films Lausanne v. 398-399, p. 626-631, nov. 2001

Lausanne 2001

Acesso online

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