Plasma polymerized TEOS films for nanochannels formation and sensor development
Carvalho, R.A.M. ; Lima, R.R. ; Nascimento Filho, A.P. ; Silva, M.L.P. ; Demarquette, N.R.
Sensors and actuators. B, Chemical, 2005-07, Vol.108 (1), p.955-963 [Periódico revisado por pares]Elsevier B.V
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