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Spacer length and tilt implantation influence on scaled UTBOX FD MOSFETS

Sara Dereste dos Santos Talitha Nicoletti; Marc Aoulaiche; João Antonio Martino 1959-; A Veloso; Malgorzata Jurczak; Eddy Simoen; Cor Claeys; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices (27th 2012 Brasilia)

Microelectronics technology and devices, SBMicro Pennington: Electrochemical Society, 2012

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Título:
Spacer length and tilt implantation influence on scaled UTBOX FD MOSFETS
Autor: Sara Dereste dos Santos
Talitha Nicoletti; Marc Aoulaiche; João Antonio Martino 1959-; A Veloso; Malgorzata Jurczak; Eddy Simoen; Cor Claeys; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices (27th 2012 Brasilia)
Assuntos: MICROELETRÔNICA
É parte de: Microelectronics technology and devices, SBMicro Pennington: Electrochemical Society, 2012
Editor: Pennington
Data de criação/publicação: 2012
Formato: p. 483-489.
Idioma: Inglês

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