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High-Frequency Surface Acoustic Wave Resonator with Diamond/AlN/IDT/AlN/Diamond Multilayer Structure

Lei, Liang ; Dong, Bo ; Hu, Yuxuan ; Lei, Yisong ; Wang, Zhizhong ; Ruan, Shuangchen

Sensors (Basel, Switzerland), 2022-08, Vol.22 (17), p.6479 [Periódico revisado por pares]

Basel: MDPI AG

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