skip to main content
Visitante
Meu Espaço
Minha Conta
Sair
Identificação
This feature requires javascript
Tags
Revistas Eletrônicas (eJournals)
Livros Eletrônicos (eBooks)
Bases de Dados
Bibliotecas USP
Ajuda
Ajuda
Idioma:
Inglês
Espanhol
Português
This feature required javascript
This feature requires javascript
Primo Search
Busca Geral
Busca Geral
Acervo Físico
Acervo Físico
Produção Intelectual da USP
Produção USP
Search For:
Clear Search Box
Search in:
Busca Geral
Or select another collection:
Search in:
Busca Geral
Busca Avançada
Busca por Índices
This feature requires javascript
Tipo de recurso
criteria input
qualquer lugar do registro
no título
como autor
no assunto
Data de publicação
lsr01
lsr02
lsr03
lsr04
Orientador
Show Results with:
no título
Show Results with:
qualquer lugar do registro
no título
como autor
no assunto
Data de publicação
lsr01
lsr02
lsr03
lsr04
Orientador
Mostra resultados com:
criteria input
que contêm minhas palavras de busca
com a frase exata
começa com
Mostra resultados com:
Índice
criteria input
E
OU
NÃO
This feature requires javascript
Oxygen ion-beam etch resistance of metal-free and organosilicon resist materials
Gokan, Hiroshi ; Ohnishi, Yoshitake ; Saigo, Kazuhide
Microelectronic engineering, 1983, Vol.1 (4), p.251-262
[Periódico revisado por pares]
Elsevier B.V
Sem texto completo
Citações
Citado por
Serviços
Detalhes
Resenhas & Tags
Nº de Citações
Abrir fonte em uma nova janela
Enviar para
Adicionar ao Meu Espaço
Remover do Meu Espaço
E-mail (máximo 30 registros por vez)
Imprimir
Link permanente
Referência
EasyBib
EndNote
RefWorks
del.icio.us
Exportar RIS
Exportar BibTeX
This feature requires javascript
<a href="https://metalibsfx.aguia.usp.br:3443/sfxlcl41?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-07-21T13%3A08%3A31IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-elsevier_cross&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.genre=article&rft.atitle=Oxygen%20ion-beam%20etch%20resistance%20of%20metal-free%20and%20organosilicon%20resist%20materials&rft.jtitle=Microelectronic%20engineering&rft.au=Gokan,%20Hiroshi&rft.date=1983&rft.volume=1&rft.issue=4&rft.spage=251&rft.epage=262&rft.pages=251-262&rft.issn=0167-9317&rft.eissn=1873-5568&rft_id=info:doi/10.1016/0167-9317(83)90015-1&rft_dat=%3Celsevier_cross%3E0167931783900151%3C/elsevier_cross%3E%3Cgrp_id%3Ecdi_FETCH-LOGICAL-c219t-378da20d0224f51ad4cf79b3f5a5549859b9a258a941975dd655c94dc8ce8b590%3C/grp_id%3E%3Coa%3E%3C/oa%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/" target="_blank">To get to the resource you are seeking: Abrir fonte em uma nova janela</a>
This feature requires javascript
Voltar para lista de resultados
Anterior
Resultado
2
Avançar
This feature requires javascript
This feature requires javascript
Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.
Buscando por
em
scope:(USP_PRODUCAO),scope:(USP_EBOOKS),scope:("PRIMO"),scope:(USP),scope:(USP_EREVISTAS),scope:(USP_FISICO),primo_central_multiple_fe
Mostrar o que foi encontrado até o momento
This feature requires javascript
This feature requires javascript
Anterior
Página Inicial
RSS
Feed
Políticas
Fale Conosco
Logos de Redes Sociais: 
Logos de Redes Sociais: