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Synchrotron radiation applied to real-time studies of the kinetics of growth of aluminum nitride thin multilayers

J García Molleja J Burgi; G Kellermann; Aldo Felix Craievich; R Neuenschwander; P Y Jouan; M A Djouadi; M Piccoli; E Bemporad; D de Felicis Feugeas J N

Journal of Physical Chemistry B v. 123, p. 1679−1687, 2019

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Título:
Synchrotron radiation applied to real-time studies of the kinetics of growth of aluminum nitride thin multilayers
Autor: J García Molleja
J Burgi; G Kellermann; Aldo Felix Craievich; R Neuenschwander; P Y Jouan; M A Djouadi; M Piccoli; E Bemporad; D de Felicis Feugeas J N
Assuntos: FILMES FINOS
É parte de: Journal of Physical Chemistry B v. 123, p. 1679−1687, 2019
Notas: Disponível em: https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acs.jpcb.8b09496?rand=z2nu5xkb. Acesso em: 12/08/2019
Editor: New York
Data de criação/publicação: 2019
Formato: p. 1679−1687.
Idioma: Inglês

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