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Construction of an evaporation system for film deposition via resistive and electron beam sources

Fabio S. Vicente Elisabete A. A Rubo; Máximo Siu Li; Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência - CBrAVIC (24. 2003 Bauru)

Programa oficial e resumo de trabalhos Bauru : Universidade Estadual Paulista, Faculdade de Ciências, 2003

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