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High quality low temperature DPECVD silicon dioxide
Inés Pereyra 1947- Marco Isaías Alayo Chávez 1971-
Journal of Non-Crystalline Solids Amsterdam v. 212, n. 2/3, p. 225-231, jun. 1997
Amsterdam 1997
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Título:
High quality low temperature DPECVD silicon dioxide
Autor:
Inés Pereyra 1947-
Marco Isaías Alayo Chávez 1971-
Assuntos:
CIRCUITOS INTEGRADOS
É parte de:
Journal of Non-Crystalline Solids Amsterdam v. 212, n. 2/3, p. 225-231, jun. 1997
Editor:
Amsterdam
Data de criação/publicação:
1997
Formato:
p. 225-231.
Idioma:
Inglês
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