Estudo da reprodutibilidade do sistema PETEOS utilizando a técnica de espectrometria de massas. (em CD-Rom)
Ana Neilde Rodrigues da Silva Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)
Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997Itajubá SBMICRO/EFEI 1997
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