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Focused Ion Beam Milling of Photonic Crystal Structures in Silicon on Insulator

Hu, Wen-Bin ; Wico, Hopman ; Rene, Ridder

Wuhan Ligong Daxue Xuebao (Journal of Wuhan University of Technology), 2009-01, Vol.31 (2), p.73-76 [Periódico revisado por pares]

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