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AlN Barriers for Capacitance Reduction in Phase-Change RF Switches

Slovin, Gregory ; Min Xu ; Paramesh, Jeyanandh ; Schlesinger, T. E. ; Bain, James A.

IEEE electron device letters, 2016-05, Vol.37 (5), p.568-571 [Periódico revisado por pares]

New York: IEEE

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