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Transversal optical singularity induced precision measurement of step-nanostructures

Dou, Xiujie ; Zhou, Jiakang ; Zhang, Yuquan ; Min, Changjun ; Pereira, S. F. ; Yuan, Xiaocong

Optics express, 2023-09, Vol.31 (20), p.32840-32848 [Periódico revisado por pares]

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