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Modelagem de chaves MEMS para aplicações em RF.

Silva, Michel Bernardo Fernandes Da

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2007-10-05

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  • Title:
    Modelagem de chaves MEMS para aplicações em RF.
  • Author: Silva, Michel Bernardo Fernandes Da
  • Supervisor: Barbin, Silvio Ernesto
  • Subjects: Circuitos De Microondas; Engenharia Elétrica; Engenharia Eletrônica; Sistemas Microeletromecânicos; Tecnologia De Microondas; Bandwidth Enhancement; Microelectromechanical Systems; Rf Mems Switches
  • Notes: Dissertação (Mestrado)
  • Local notes: Programa Engenharia Elétrica
  • Description: Nesta dissertação, os principais conceitos de MEMS, suas aplicações, processos de fabricação, componentes e sistemas são abordados. O objetivo desta dissertação é o estudo detalhado de chaves MEMS para aplicações em RF, que apresentam bom comportamento em altas freqüências e com potencial de melhoria em sua banda de operação. Em particular, aprofundou-se o estudo para o caso de uma chave MEMS de membrana capacitiva paralela sobre um guia de onda coplanar ou CPW - Coplanar Waveguide. O objetivo foi o de ampliar sua banda de operação, mantendo-se outras especificações inalteradas. Partindo-se de uma chave com banda de operação nula para critérios de perda de retorno e isolação mínimas iguais a 20 dB, com alteração na geometria da chave foi possível obter-se uma banda de 28 GHz e posteriormente ampliá-la para 31 GHz, praticamente sem alteração nas demais características elétricas.
  • DOI: 10.11606/D.3.2007.tde-08012008-171156
  • Publisher: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica
  • Creation Date: 2007-10-05
  • Format: Adobe PDF
  • Language: Portuguese
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