11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications

Witvrouw, A. ; Haspeslagh, L. ; Pedreira, O.V. ; De Coster, J. ; De Wolf, I. ; Tilmans, H.A.C. ; Bearda, T. ; Schlatmann, B. ; van Bommel, M. ; de Nooijer, M.-C. ; Magnee, P.H.C. ; Lous, E.J. ; Hagting, M. ; Lauria, J. ; Vanneer, R. ; van Drieenhuizen, B.

Journal of microelectromechanical systems, 2010-02, Vol.19 (1), p.202-214 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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