Production of hidrogenated amorphous silicon films frow a low frequency glow discharge
J. F. Fragalli L Misoguti; A. N Nakagaito; H Branz; V Grivickas; Vanderlei Salvador Bagnato; Workshop on Crystalline and Amorphous Silicon and its Alloys (1992 Campinas)
Proccedings Campinas : UNICAMP, 1992Campinas UNICAMP 1992
Localização: IFSC - Inst. Física de São Carlos (PROD002444 )(Acessar)