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Production of hidrogenated amorphous silicon films frow a low frequency glow discharge

J. F. Fragalli L Misoguti; A. N Nakagaito; H Branz; V Grivickas; Vanderlei Salvador Bagnato; Workshop on Crystalline and Amorphous Silicon and its Alloys (1992 Campinas)

Proccedings Campinas : UNICAMP, 1992

Campinas UNICAMP 1992

Localização: IFSC - Inst. Física de São Carlos    (PROD002444 )(Acessar)

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