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Journal of vacuum science and technology B Microelectronics processing and phenomena

American Institute of Physics (New York); American Vacuum Society (Estados Unidos)

New York The Society 1983-

Localização: IFSC - Inst. Física de São Carlos     e outros locais(Acessar)

  • Título:
    Journal of vacuum science and technology B Microelectronics processing and phenomena
  • Autor: American Institute of Physics (New York); American Vacuum Society (Estados Unidos)
  • Assuntos: FÍSICA
  • Notas Locais: Este periódico também está disponível para acesso, em formato eletrônico, na SIBiNet. "Clicar" sobre o ícone abaixo
  • Títulos relacionados: Título anterior:Journal of vacuum science and technology 1,1964-21(4),1982
  • Editor: New York The Society
  • Data de criação/publicação: 1983-
  • Idioma: Inglês

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