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Estudo da influencia do ambiente no processo de silicetacao do titanio realizado em fornos de rtp

Y P V Costa Claus Martin Hasenack; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)

Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992

São Paulo Sbmicro/Epusp 1992

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