Estudo da influencia do ambiente no processo de silicetacao do titanio realizado em fornos de rtp
Y P V Costa Claus Martin Hasenack; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)
Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992São Paulo Sbmicro/Epusp 1992
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