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Medida da rugosidade superficial de laminas de silicio empregando a tecnica de espalhamento elastico de luz laser hene

J C Souza Filho Sebastião Gomes dos Santos Filho 1962-; Claus Martin Hasenack; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (8. 1993 Campinas)

Anais Campinas : Sbmicro, 1993

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Title:
Medida da rugosidade superficial de laminas de silicio empregando a tecnica de espalhamento elastico de luz laser hene
Author: J C Souza Filho
Sebastião Gomes dos Santos Filho 1962-; Claus Martin Hasenack; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (8. 1993 Campinas)
Subjects: SEMICONDUTORES
Is Part Of: Anais Campinas : Sbmicro, 1993
Publisher: Campinas Sbmicro
Creation Date: 1993
Format: p.xx.19-24.
Language: Portuguese

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