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Investigations on Microstructure, Surface Topography, and Growth Process of Sputtered Molybdenum Showing Texture Turnover

Drüsedau, Tilo P. ; Klabunde, F. ; Veit, P. ; Hempel, Th

Physica status solidi. A, Applied research, 1997-05, Vol.161 (1), p.167-184

Berlin: WILEY-VCH Verlag

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