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Optical properties of pulse laser deposited AlN thin films on silicon

Chale-Lara, Fabio ; Farias, Mario H. ; Huerta-Escamilla, Conett ; Xiao, Mufei

Materials letters, 2009-10, Vol.63 (24), p.2093-2096 [Periódico revisado por pares]

Elsevier B.V

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